IC载板设备

垂直非接触显影线

使用线路板的Non-Contact方式,使基板损伤最小化,提高工程效率,可实现载板高增值及高生产性的设备。

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垂直非接触显影线

产品基本功能

项目

干膜显影

防焊显影

基板类型

封装载板, HDI

尺寸

403*508mm ~ 415*512mm, 508*608mm ~ 520*612mm 

过板能力

4200 pcs/day

厚度

Min 0.03mm(Cu 2/2)  ~  Max 0.8mm 

孔尺寸

BVH (min 50㎛)  and  PTH( Min 50㎛)

线路宽度

Min: 5-10㎛(Dry  Film 15-20㎛)

特殊说明

针对高精细显影工程,正常显影槽后增加二流体显影,使显影喷雾粒子降低为3~7um(常规蚀刻喷雾粒子为50~100um),进一步提高显影解析度.


防焊显影流程:

投入→缓冲#1→显影#1→显影#2→显影#3→显影新液→缓冲#→缓冲#3→热水洗#1、#2、#3、#4→缓冲#4水洗#1、#2、#3→缓冲#5→风切→热风→缓冲#6→排出


干膜显影流程:

投入→缓冲#1→显影#1→显影#2→显影新液→缓冲#→缓冲#3→热水洗#1、#2、#3、#4→缓冲#4水洗#1、#2、#3→缓冲#5→风切→热风→缓冲#6→排出


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